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无尘车间空气净化一般规定


1、   洁净的生产环境是生产工艺的需要,是确保产品的成品率和产品质量的可靠
性、长寿命所必须的。随着我国国民经济的发展,各行各业对生产环境的温度、相
对湿度和洁净度的要求也越来越高。例如:大规模和超大规模集成电路的发展很快,
在1980 年时其集成度只有64KB,而到目前集成度已提高到1GB 或更高;64KB 集
成电路前工序生产所要求生产环境的空气洁净度等级只有4 级和5 级,而1GB 集成
电路前工序生产对生产环境洁净度等级的要求提高到1 级和2 级(0.1μm)。

2  、不同的生产工艺、不同的生产工序对生产环境的要求也是不相同的,因此,确
定洁净室的空气洁净度等级时应根据不同工艺、不同工序对环境的洁净度要求而定。
根据不同生产工艺、不同生产工序对环境洁净度的不同要求,该高则高,该低
则低,尽量缩小高洁净度等级部分的面积,以局部高等级净化和全室较低等级净化
的洁净室系统代替全室高等级净化的洁净室系统。既能确保不同生产工艺对生产环
境的要求,又能大幅度地降低初投资和运行费用。
例如:对于生产1GB 超大规模集成电路前工序的洁净室来说,在整个生产过程中
只有少数工序(制版、光刻等)对生产环境的空气洁净度等级要求最高为1 级或2 级,
而其它大部分工序只要求5 级、6 级,甚至只有7 级。不需将全部洁净室都设计为1
级或2 级。

3、   人是洁净室内主要的发尘源,作业人员进入洁净室必须穿着与洁净室的空气
洁净度等级相适应的洁净工作服。由于洁净工作服的透气性较差,为了保证作业人
员的工作环境提高劳动生产率,在洁净室生产工艺对环境的温、湿度没有特殊要求
时,洁净室内的温度主要是为了作业人员的舒适。因此,洁净室温度:冬季20~22℃;
夏季24~26℃,湿度:冬季30%~50%,夏季50%~70%较为适宜。

4、   关于洁净室新鲜空气量的标准问题。《工业企业设计卫生标准》(TJ 36)规定:
“每名工人所占容积小于20m3 的车间,应保证每人每小时不少于30m3 的新鲜空气
量……”。《采暖通风与空气调节设计规范》(GBJ 19)规定:“空气调节系统的新风量
应符合下列规定:生产厂房应按补偿排风、保持室内正压或保证每人不小于30m3/h 的
新风量的最大值确定”。
按每人、每小时所需新鲜空气量统计:美国为30m3;英国为42m3;日本为35m3。
本规范在执行过程中,由于洁净室的净高、换气次数取值不同等因素,使得总
送风量相差较大,原规范把“乱流洁净室总送风量的10%~30%;层流洁净室总送风
量的2%~4%”作为新风量取值标准是不严格的。故本次修订中的新鲜空气量规定为
应取下列二项中的最大值:
1 补偿室内排风量和保持室内正压值所需新鲜空气量之和。
2 保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。


资料来源:广州嘉凡净化科技有限公司 http://www.gzjiafan.com
日期:2018-08-28 浏览次数:1373
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